產(chǎn)品展示PRODUCTS
雙頻氦氖激光干涉儀 納米精度位移測(cè)量
更新日期：2026-04-15
訪問量：189
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址：日本
產(chǎn)品概述
核心性能與參數(shù)
測(cè)量原理：塞曼效應(yīng)雙頻 He-Ne 激光干涉法，抗環(huán)境干擾能力強(qiáng)，適合工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)長(zhǎng)期連續(xù)測(cè)量
激光波長(zhǎng)：632.8nm（標(biāo)準(zhǔn)氦氖激光），最小分辨率 0.3nm，測(cè)量精度 ±0.05ppm
輸出功率：0.5mW，頻率穩(wěn)定性優(yōu)異，長(zhǎng)期使用性能穩(wěn)定
測(cè)量速度：最高 1.0m/s，支持多軸同步測(cè)量，適配高速運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
工作環(huán)境：溫度 15~35℃，濕度 < 80% RH（無結(jié)露），適配無塵室與車間環(huán)境
產(chǎn)品特點(diǎn)
雙頻穩(wěn)頻技術(shù)，抗振動(dòng)、氣流干擾能力強(qiáng)，測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定可靠
納米級(jí)超高精度，滿足半導(dǎo)體、超精密加工的亞微米級(jí)位移測(cè)量需求
高兼容性設(shè)計(jì)，可直接替換 HP 5501B 等經(jīng)典系統(tǒng)，降低改造成本
寬電壓輸入，適配全球工業(yè)場(chǎng)景，連續(xù)運(yùn)行穩(wěn)定性強(qiáng)
非標(biāo)準(zhǔn)現(xiàn)貨，可根據(jù)客戶需求定制單軸 / 多軸、角度 / 直線 / 平面度等全功能測(cè)量系統(tǒng)
美國(guó) Excel Precision 1001F 雙頻氦氖激光干涉儀 納米精度位移測(cè)量 適用場(chǎng)景
半導(dǎo)體 / 液晶面板制造：光刻機(jī)、檢測(cè)設(shè)備的位移標(biāo)定，晶圓 / 玻璃基板產(chǎn)線精度校準(zhǔn)
精密機(jī)械 / 機(jī)床領(lǐng)域：超精密機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的精度檢測(cè)與補(bǔ)償
科研 / 實(shí)驗(yàn)室領(lǐng)域：精密光學(xué)實(shí)驗(yàn)、材料力學(xué)測(cè)試的位移測(cè)量
