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半導(dǎo)體用超純水在線加熱器
更新日期：2026-05-19
訪問(wèn)量：112
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址：日本
一、日本 EKUSA EHS 型半導(dǎo)體用超純水在線加熱器 產(chǎn)品概述
二、核心性能特點(diǎn)
高純度流體兼容，無(wú)金屬污染
接液部分全部采用 PFA 材質(zhì)，無(wú)金屬部件接觸流體，可耐受超純水、等腐蝕性藥液，不會(huì)造成流體污染，滿足半導(dǎo)體行業(yè)的高純度工藝要求。
PID 精準(zhǔn)控溫，流量適應(yīng)性強(qiáng)
采用 PID 自動(dòng)溫控系統(tǒng)，溫度精度可達(dá) ±1℃，流量波動(dòng)時(shí)溫控穩(wěn)定性優(yōu)異；低表面溫度加熱設(shè)計(jì)，避免流體局部過(guò)熱分解，保證流體品質(zhì)穩(wěn)定。
高可靠性工業(yè)設(shè)計(jì)，安全防護(hù)
常用最高壓力 0.4MPa、溫度 150℃，內(nèi)置漏液傳感器、超溫保護(hù)、停電保護(hù)功能，停電重啟時(shí)溫度上升僅約 10℃，高溫工況也可安全運(yùn)行；加熱器采用低溫設(shè)計(jì)，壽命接近半，無(wú)需頻繁更換。
易維護(hù)與遠(yuǎn)程控制適配
緊湊型立式結(jié)構(gòu)，占地面積小，安裝維護(hù)便捷；支持外部信號(hào)遠(yuǎn)程控制，可接入自動(dòng)化生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程溫控與監(jiān)控。
三、技術(shù)參數(shù)
| 項(xiàng)目 | 參數(shù)說(shuō)明 |
|---|---|
| 品牌 | EKUSA（エクサ，日本） |
| 產(chǎn)品類型 | 氟樹脂制超純水在線加熱器 |
| 型號(hào)系列 | EHS-1~EHS-6 |
| 功率范圍 | 25kW~150kW（AC200V 三相） |
| 最高流體溫度 | 90℃（標(biāo)準(zhǔn)）/150℃（高溫工況） |
| 控溫方式 | PID 自動(dòng)控制 |
| 溫度精度 | ±1℃ |
| 常用壓力 | 0.4MPa |
| 接液材質(zhì) | PFA（可溶性聚四氟乙烯） |
| 外殼材質(zhì) | SUS304 不銹鋼 |
| 防護(hù)功能 | 漏液檢測(cè)、超溫保護(hù)、停電保護(hù) |
| 安裝方式 | 在線管路式安裝 |
四、日本 EKUSA EHS 型半導(dǎo)體用超純水在線加熱器 適用場(chǎng)景
半導(dǎo)體 / 電子行業(yè)：晶圓清洗超純水加熱、光刻膠溶劑加熱、蝕刻液 / 清洗液溫控
精密電子制造：液晶面板、半導(dǎo)體封裝工藝中的高純度藥液加熱
化工行業(yè)：腐蝕性溶液、有機(jī)溶劑的無(wú)金屬污染加熱
工藝自動(dòng)化：連續(xù)生產(chǎn)線中流體的在線加熱與溫控
