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TB-Ⅳ TB-ⅣN 系列 真空氣氛用氧傳感器
更新日期：2026-07-06
訪問量：19
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址：日本
一、日本 analyzer TB-Ⅳ TB-ⅣN 系列 真空氣氛用氧傳感器 產(chǎn)品基礎(chǔ)信息
| 項(xiàng)目 | 詳情 |
|---|---|
| 品牌型號(hào) | analyzer TB-Ⅳ / TB-ⅣN系列 真空氣氛用氧傳感器 |
| 檢測(cè)芯體 | 真空低壓工況專用微量低氧電化學(xué)傳感芯體，量程0~1000ppm O?可細(xì)分定制 |
| 安裝結(jié)構(gòu) | 標(biāo)準(zhǔn)真空密封一體式法蘭，配套密封墊圈，適配各類真空腔體側(cè)壁開孔裝配 |
| 配套適配 | 專用信號(hào)匹配C-28C單通道、C-48雙通道氧傳感控制單元使用 |
| 核心應(yīng)用 | 半導(dǎo)體真空鍍膜、鋰電真空燒結(jié)、金屬真空熱處理密閉腔體微量氧泄漏監(jiān)測(cè) |
二、核心規(guī)格參數(shù)
| 參數(shù)項(xiàng) | 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 |
|---|---|
| 量程范圍 | 標(biāo)準(zhǔn)0~1000ppm O?，可定制0~50ppm、0~200ppm細(xì)分微量低氧量程 |
| 真空適配 | 適配中低壓力真空腔體稀薄惰性氣體環(huán)境，法蘭結(jié)構(gòu)維持腔體真空密閉 |
| 信號(hào)傳輸 | 輸出專用原始傳感信號(hào)，搭配真空專用屏蔽信號(hào)線接入配套控制單元 |
| 校準(zhǔn)模式 | 搭配C系列控制單元完成零點(diǎn)高純氮+量程微量標(biāo)氣兩點(diǎn)完整校準(zhǔn) |
| 防護(hù)配置 | 探頭感應(yīng)端內(nèi)置前置過濾防護(hù)結(jié)構(gòu)，阻擋真空濺射顆粒物附著傳感芯體 |
| 型號(hào)區(qū)分 | TB-Ⅳ基礎(chǔ)款適配熱處理真空爐；TB-ⅣN潔凈優(yōu)化款適配半導(dǎo)體鍍膜真空腔體 |
| 機(jī)身材質(zhì) | 耐腐蝕金屬法蘭殼體，耐受真空腔內(nèi)溫和高溫、惰性氣氛腐蝕 |
| 運(yùn)行模式 | 搭配配套控制單元實(shí)現(xiàn)7×24小時(shí)真空腔體連續(xù)在線微量氧監(jiān)測(cè) |
三、產(chǎn)品核心性能優(yōu)勢(shì)
1. 真空低壓專用傳感芯體，穩(wěn)定讀取稀薄真空氣氛微量氧數(shù)值
針對(duì)真空腔體低壓稀薄氣體環(huán)境優(yōu)化電化學(xué)電極結(jié)構(gòu)，常壓通用氧探頭在真空低壓環(huán)境易出現(xiàn)讀數(shù)漂移、響應(yīng)遲緩，本系列探頭可穩(wěn)定捕捉真空腔內(nèi)ppm級(jí)微量氧雜質(zhì)，及時(shí)反饋腔體法蘭密封泄漏、惰性供氣純化失效問題，提前規(guī)避真空工藝工件氧化報(bào)廢。
2. 通用標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭，裝配后不破壞腔體真空密閉環(huán)境
采用行業(yè)通用規(guī)格真空法蘭底座，配套配套彈性密封墊圈，新舊真空燒結(jié)爐、鍍膜機(jī)腔體無需二次加工開孔，停機(jī)泄壓后即可快速鎖緊裝配，法蘭接縫密封性能穩(wěn)定，裝配完成抽真空無泄漏，降低真空設(shè)備改造施工難度。
3. 分體隔離布局，電控元件遠(yuǎn)離真空高溫、濺射污染區(qū)域
氧感應(yīng)探頭整體伸入真空腔體內(nèi)部采集氣氛，信號(hào)線纜通過真空密封端子引出腔體，外部連接放置在常壓無塵電控柜內(nèi)的C系列控制單元；顯示、告警、信號(hào)轉(zhuǎn)換電控元件隔離真空腔內(nèi)高溫、濺射粉塵污染環(huán)境，減少電子元件老化損耗。
4. 前端內(nèi)置過濾防護(hù)，減少真空濺射粉塵造成的探頭維護(hù)頻次
探頭感應(yīng)端配置小型可拆卸過濾防護(hù)結(jié)構(gòu)，可阻擋真空金屬燒結(jié)、光學(xué)鍍膜過程產(chǎn)生的濺射粉末、有機(jī)揮發(fā)物附著在傳感電極表面，緩解雜質(zhì)堆積帶來的測(cè)量基線漂移，延長(zhǎng)真空設(shè)備開蓋清理維護(hù)周期。
5. 全系列兼容C系列控制單元，成套監(jiān)測(cè)系統(tǒng)無需額外轉(zhuǎn)換模塊
探頭輸出原始傳感信號(hào)與C-28C、C-48控制單元匹配，僅需在儀表操作面板選擇對(duì)應(yīng)TB系列探頭型號(hào)即可完成參數(shù)適配，無需采購(gòu)信號(hào)轉(zhuǎn)換、放大中間模塊，一套電控儀表可靈活搭配多支真空氧探頭組網(wǎng)監(jiān)控多臺(tái)真空爐。
6. 真空專用屏蔽傳輸線纜，抑制真空設(shè)備電磁干擾數(shù)值跳變
配套真空出線專用多層屏蔽信號(hào)線，真空設(shè)備內(nèi)部濺射電源、真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)易產(chǎn)生交變電磁干擾，屏蔽結(jié)構(gòu)可穩(wěn)定傳輸微弱傳感信號(hào)，減少中控端氧數(shù)值無規(guī)律跳變、誤告警觸發(fā)等故障。
7. 兩款細(xì)分型號(hào)，匹配不同產(chǎn)線潔凈管控標(biāo)準(zhǔn)按需選型
TB-Ⅳ基礎(chǔ)款結(jié)構(gòu)適配粉末冶金、鋰電熱處理真空燒結(jié)爐；TB-ⅣN在探頭殼體、過濾結(jié)構(gòu)做潔凈優(yōu)化處理，無多余析出雜質(zhì)，適配半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)鏡片高潔凈真空鍍膜腔體，客戶可根據(jù)制程潔凈等級(jí)自由選型。
四、日本 analyzer TB-Ⅳ TB-ⅣN 系列 真空氣氛用氧傳感器 適用行業(yè)與應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體晶圓制造產(chǎn)線：光學(xué)鈍化膜、介質(zhì)膜真空鍍膜腔體微量氧密封泄漏持續(xù)在線監(jiān)測(cè)
新能源鋰電材料車間：正負(fù)極粉體真空退火燒結(jié)爐密閉腔體惰性氣氛氧雜質(zhì)管控
金屬精密熱處理加工：不銹鋼、鈦合金真空退火、釬焊爐內(nèi)部保護(hù)氣氛氧含量監(jiān)控
光學(xué)元件鍍膜生產(chǎn)線：玻璃鏡片、光學(xué)薄膜真空沉積腔體微量氧實(shí)時(shí)采集
實(shí)驗(yàn)室材料科研設(shè)備：高溫真空管式反應(yīng)爐、小型真空實(shí)驗(yàn)腔體氣氛監(jiān)測(cè)
粉末冶金燒結(jié)車間：金屬合金粉體真空還原煅燒密閉爐腔體微量氧檢測(cè)
